ULVAC 金屬膜用EB槍 EGK-3M
特點 采用容量2.9cc的4點切換坩堝可實現(xiàn)多層成膜。 由于電子束被電磁場偏轉,二次電子對成膜體的影響非常小。 即使是升華材料,掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。 電子束225°偏轉,燈絲不會從蒸發(fā)材料暴露,因此壽命很長。 發(fā)射器組件易于拆開,更換燈絲,絕緣體等非常容易。 規(guī)格
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