ULVAC DC電源 DC-10-DH
特點 豐富的高性能選項 輕巧且節(jié)省空間的設計 800V和1000V的電壓輸出范圍 適應于等離子體的輸出控制 強制空氣冷卻系統(tǒng)，無需冷卻水 配備出色的ARC功能和高速ARC斷路器 可*多12臺設備并聯(lián)運行（240kW） 符合RoHS、CE、SEMI-F47標準 用途 FPD濺射設備 半導體濺射設備 電子元器件濺射設備 工業(yè)涂層濺射設備 規(guī)格
工作環(huán)境溫度 5°C 至 40°C（無冷凝）。 操作環(huán)境 避免陽光直射、高溫、灰塵和振動 無腐蝕性氣體。 *1：可選精度保證范圍為額定值的 1-10%。 *2：可提供輸出電壓和輸出電流的下限。 可選配 1%范圍內的精度保證。 *3：800 V 和 1000 V 規(guī)格不能合并。
*4：EtherCAT 規(guī)格為可選項。 詳情請聯(lián)系我們。
可選功能
有四種升級包（或單元）可滿足客戶需求，具有其他直流電源不具備的獨特高性能功能。 這些新功能可幫助客戶解決以前無法解決的工藝問題，提高薄膜性能。
1. 高性能 RAMP
放電前控制輸出（點火操作）的功能，從而抑制放電開始時輸出的突然變化，并使放電后立即獲得穩(wěn)定狀態(tài)。傳統(tǒng)上，直流電源中的 RAMP 功能一般是在放電后控制輸出。 因此，我們將重點放在放電前的輸出控制上。通常，輸出控制是在放電后進行的，因此可能無法獲得穩(wěn)定的放電狀態(tài)。 有了這項新功能，在放電前控制輸出（點火操作），就可以抑制放電開始時的瞬時高功率，穩(wěn)定放電。
出力再現(xiàn)性（σ：0.74W）
ARC遮斷時間の自動判斷
寸法図
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