ULVAC DC電源 DC-4
特點
高控制精度
即使在10%或更低的低功率區(qū)域內(nèi),也可以實現(xiàn)設(shè)定值±1%的高精度輸出
寬精度保證
1~100%的寬功率精度保證
重量輕?節(jié)省空間
輕巧,節(jié)省空間的設(shè)計,安裝更方便
不需要冷卻水
強制空冷系統(tǒng),不需要冷卻水。
高可靠性
作為設(shè)備制造商的經(jīng)驗累積成果。
用途
R&用于濺射設(shè)備 ?各種成膜設(shè)備的偏壓電源
規(guī)格
| 型式 | DC-2 | DC-4 | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | AC208V/220V | |
| 変動範(fàn)囲 | AC180~242V | ||
| 相數(shù)、周波數(shù) | 3相 50/60Hz | ||
| 入力容量 | 3.5kVA | 6.2kVA | |
| 出力仕様 | *大定格電力 | 2kW | 4Kw |
| 定格電流 | 5A | 10A | |
| 定格電圧 | 800V | ||
| 出力極性 | 負(fù)極性 | ||
| 異常放電制御 | 共振關(guān)閉或逆變器關(guān)閉 | ||
| 制御 | 制御方式 | 定電力制御(P制御)/定電流制御(I制御)/定電圧制御(V制御) | |
| 制御精度 |
設(shè)定値の±1% (弊社規(guī)定抵抗値にて) |
||
| 制御保証範(fàn)囲 | 定格電力値の1~100% | ||
| 並列運転 | 無 | ||
| 外部制御 | 模擬/數(shù)字、RS-232C 或 RS-485 | ||
| 冷卻方式 | 強制空冷 | ||
| 外形寸法(W×D×H) | 241mm×610mm×133mm(不包括突出部分) | ||
| 質(zhì)量 | 15kg | ||
| 適合規(guī)格 | CE/SEMI F47/RoHS指令 | ||
工作環(huán)境溫度 5°C 至 40°C(無冷凝)
工作環(huán)境 避免陽光直射、高溫、灰塵、振動和腐蝕性氣體。
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