反應(yīng)過程氣體監(jiān)視器
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產(chǎn)品名稱:
反應(yīng)過程氣體監(jiān)視器
產(chǎn)品型號:
RGM2-201F
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
ULVAC RGM2-201F 反應(yīng)過程氣體監(jiān)視器
反應(yīng)過程氣體監(jiān)視器Qulee RGM2-201F是Qulee系列的對應(yīng)蝕刻、CVD、ALD裝置等反應(yīng)性氣體的帶差動排氣系統(tǒng)的過程監(jiān)視器。
反應(yīng)過程氣體監(jiān)視器
的詳細介紹
ULVAC RGM2-201F 反應(yīng)過程氣體監(jiān)視器
特點
排氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)集成，實現(xiàn)縱向放置，即使在空間有限的生產(chǎn)線上也可以進行反應(yīng)氣體監(jiān)測，因為足跡是世界上*小的。
在維護期間，燈絲套件的更換速度大大提高2名工人在10分鐘內(nèi)完成了120分鐘的工作。
使用雙燈絲，即使**根燈絲斷線，也可以在不停止生產(chǎn)線的情況下進**體分析。
采用觸摸屏，可以實時檢查情況。
從啟動到測量的操作僅在個人計算機上完成。
采用敝公司獨特的帶磁鐵的Closed Ion Source,即使在反應(yīng)性過程中也可以長時間穩(wěn)定測量。
由于具有低氣體解離和高靈敏度的電離室，因此僅使用法拉第杯就可以進行高靈敏度的氣體分析。
一種緊湊的流道控制閥，可防止熱反應(yīng)引起的分解和吸附。
縮短了從工藝室到離子源的距離，可以快速響應(yīng)分解。
增強預(yù)防保護功能
離子源，二次電子倍增管的預(yù)防性保護
安裝分析管的可追溯性功能 (**5016031號)
標(biāo)準(zhǔn)軟件與Windows 8/10/11兼容。
用途
CVD·ALD·Etching裝置
過程中反應(yīng)氣體的監(jiān)測
蝕刻清洗過程的端點監(jiān)視器
殘余氣體測量
規(guī)格
傳感器