DI-WATER HEATER PWH系列
半導(dǎo)體制造工藝超純水加熱裝置
作為硅晶片·液晶用玻璃基板超純水清洗用的*適合于使用點(diǎn)的溫水供給裝置
本裝置是半導(dǎo)體制造線(xiàn)上硅晶片的清洗、液晶制造線(xiàn)中的玻璃基板的清洗等使用的加熱超純水的裝置。加熱部是用高品質(zhì)石英玻璃雙層覆蓋的鹵素?zé)粢驗(yàn)槭怯衫w維構(gòu)成,所以沒(méi)有雜質(zhì)污染,高效率的超純水加熱裝置。另外,改裝置是緊湊設(shè)計(jì)所以使用點(diǎn)的設(shè)置場(chǎng)所可以做到*小。
特征
1.清潔
加熱部的容器是石英玻璃,配管部是氟樹(shù)脂。
2.緊湊
不占安裝面積的薄型小巧。
3.高性能調(diào)溫
高輸出鹵素?zé)舻膬?yōu)良升溫上升與特性和流量變化相對(duì)應(yīng)的溫度調(diào)節(jié)。
4.高效率
加熱效率95%以上。
5.**
對(duì)過(guò)升溫、空燒、漏水等的**功能及警報(bào)機(jī)根據(jù)能力對(duì)應(yīng)**性。
用途
1.硅晶片的清洗
2.液晶用玻璃基板的清洗
3.溫純水清洗代替其他氟利昂類(lèi)清洗
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