ULVAC 紅外線燈退火設備 RTA-12000
特點 可以進行高速熱處理 Cold Wall結構不會造成重金屬污染 可對應C to C機器人搬送系統(tǒng) 可以與制造工藝設備組合和連接 用途 LED基板退火 活性化退火 SiC晶圓的退火 動力裝置的退火 硅化物形成 可對應氧化環(huán)境 規(guī)格
(從左側)RTA-4000 CtoC/RTA-2000/RTA-6000
※其他規(guī)格要求,如單晶片加工、閃蒸退火、C to C 型、其他加熱溫度、氣體型、真空度等,請隨時與我們聯(lián)系。
RTA-2000爐腔部件
RTA-12000氣室部件
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