ULVAC VLH?SB080KC 真空角閥雙動(dòng)式VLP系列
特點(diǎn)
SUS角閥可以烘烤至150℃。
連接法蘭有4種類型可選擇:JIS-VF,ISO-KF,ISO-K和ISO-CF。
提供單動(dòng)式和復(fù)動(dòng)式2種。 單動(dòng)式僅需要一個(gè)氣動(dòng)管線。
不銹鋼材料。 (但是,VLP-U由鐵制成,VAP,VAH和VFR由鋁制成。)
規(guī)格
| 型式 | VLH-SB |
| 弁板許容*大差圧(正圧/逆圧) MPa | 0.10 |
| 弁開(kāi)時(shí)許容*大差圧(正圧/逆圧) MPa | 0.10 |
| 閥板密封方式 | 0 環(huán) |
| 軸密封方式 | 波紋管 |
| 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 雙作用氣缸 |
| 泄漏量(外部)*1 Pa?m3/s | ≦1.0E-10 |
| 泄漏量(內(nèi)部)*1 Pa?m3/s | ≦1.0E-10 |
| 使用圧力範(fàn)囲(絶対圧) Pa | 大気圧~1.0E-6 |
| 允許烘烤溫度(靜止時(shí))*2 ℃ | 本體:150*3,駆動(dòng)部:70 |
| 動(dòng)作環(huán)境溫度 ℃ | 5~70 |
| 使用流體溫度 ℃ | 5~70 |
| 加熱和冷卻速度 ℃/h | ≦30 |
| 使用環(huán)境雰囲気 | 非腐食性雰囲気 |
| 使用流體 | 非腐食性流體 |
| 氣缸供氣壓力 MPaG | - |
| 保証動(dòng)作回?cái)?shù)*4 | 100,000 |
| 運(yùn)転姿勢(shì) | 自由 |
| 開(kāi)/關(guān)傳感器 | - |
| 真空側(cè)主要部品材質(zhì) | SUS304 |
| 大気側(cè)主要部品材質(zhì) | SUS304,AL-6061(アルマイト) |
| 波紋管材料 | 不銹鋼316L |
| 密封部件材料(真空側(cè)) |
FKM |
| 油脂類(真空側(cè)) | 不使用任何潤(rùn)滑脂 |
| 吊具取付部 | 無(wú)*5 |
| RoHS | 対応 |
*1 泄露率不包括 O 型圈的滲透。在 O 形圈軸密封貫穿件的情況下,不調(diào)節(jié)開(kāi)閉時(shí)的外部泄漏。
*2 請(qǐng)勿在烘烤過(guò)程中打開(kāi)和關(guān)閉。
*3 關(guān)于 VLP-MB 和 VLH-MB,打開(kāi)位置時(shí)的*高閥體烘烤溫度為 200℃ (392F),關(guān)閉位置時(shí)的*高閥體烘烤溫度為 150℃ (302F): 150℃ (302F).
*4 詳見(jiàn)使用手冊(cè)。
*5 VLP-SA350JH 附帶升降附件(M12 眼螺栓 x 2 個(gè))
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