ULVAC 陶瓷隔膜真空計 CCMT-10D
特點
長期穩(wěn)定
使用陶瓷膜,具有優(yōu)異的耐腐蝕性
內置式溫度補償回路
采用新結構保護傳感器免受污垢
可以通過按鈕進行零點調整
用途
用于成膜設備工藝中的壓力監(jiān)控
用于真空溶解、真空熱處理爐等真空排氣系統(tǒng)的壓力監(jiān)控
用于太陽能電池等各種制造設備的壓力監(jiān)控
規(guī)格
型式 | CCMT-D | ||
測定 滿刻度 |
CCMT-1000D | 133kPa F.S. | |
CCMT-100D | 13.3kPa F.S. | ||
CCMT-10D | 1.33kPa F.S. | ||
CCMT-1D | 133Pa F.S. | ||
分解能 | 全表殼的 0.003% | ||
精度 *1 |
相對于指示值 ±0.2% ±溫度系數(shù) |
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溫度係數(shù) | 0電圧 | 0.015% F.S. / ℃ | |
跨距電圧 | 0.01% R / ℃ | ||
使用溫度範囲 | 10~50℃ | ||
応答速度 | 30ms以下 | ||
接ガス部材質 | Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3、ガラス半田、AgTiCu硬質半田 | ||
入力電源 | DC14~30V, 1W | ||
出力 | DC 0~10VF.S | ||
質量 | 329g(直徑12.7?標準型) | ||
外形寸法 | 直徑55mm×117mm (直徑12.7mm?標準型) | ||
標準配件 |
標準:直徑 12.7 毫米管道 選配:NW16KF、Cajon 8VCR |
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溫度補償 | 溫度補償回路內臓 | ||
輸入/輸出接口 | D-sub 15 針,公頭 |
*1:開機 2 小時后,工作環(huán)境溫度 25°C,進行零點調整。
*2:28% 鎳、23% 鈷、49% 鐵
*3:18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
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