渦輪分子泵
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產(chǎn)品名稱:
渦輪分子泵
產(chǎn)品型號(hào):
YTP?50MB
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 渦輪分子泵 YTP?50MB
YTP系列Ver.B是搭載陶瓷球軸承型渦輪分子泵的高真空排氣單元。
可實(shí)現(xiàn)從大氣壓到高真空的排氣。
產(chǎn)品陣容中既有可通過(guò)START/STOP開(kāi)關(guān)自動(dòng)排氣的SA型，也有手動(dòng)操作的M型。
此外，輔助泵的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格為油回轉(zhuǎn)泵，也可選擇干式渦旋泵的干式規(guī)格。
渦輪分子泵
的詳細(xì)介紹
ULVAC 渦輪分子泵 YTP?50MB
特點(diǎn)
輔助泵可以選擇：輔助泵除了可以選擇搭載油回轉(zhuǎn)泵的標(biāo)準(zhǔn)型以外，還可以選擇搭 載干泵的規(guī)格。
優(yōu)良的停電對(duì)策：前級(jí)閥門為標(biāo)配的電磁閥，防止停電時(shí)候逆流發(fā)生故障。
可確認(rèn)粗抽狀況：標(biāo)配有皮拉尼真空計(jì)，可在粗抽排氣過(guò)程中確認(rèn)壓力
可排氣至UHV區(qū)
安裝選購(gòu)配件的烘烤加熱器并進(jìn)行脫氣處理，可以排氣至UHV區(qū)。 (*產(chǎn)品規(guī)格值)
用途
從大氣壓到高真空的排氣系統(tǒng)
各種實(shí)驗(yàn)、研究裝置的排氣系統(tǒng)
高純氣體的真空置換
超高真空裝置的粗抽排氣系統(tǒng)
分析裝置的排氣系統(tǒng)
規(guī)格
*1：烘烤僅可在ICF法蘭規(guī)格下進(jìn)行。
*2：排氣速度為無(wú)防護(hù)網(wǎng)時(shí)的值。
*3：無(wú)保護(hù)網(wǎng)下的值。
尺寸圖
Unit：mm
Unit：mm