可集成到單晶片 LCD 清潔設(shè)備中,用于背面清潔。
Megasonic 可去除 0.2 μm 或更小的顆粒,實(shí)現(xiàn)超精密清洗。
高頻率(950 千赫)對(duì)被清洗物體的損害極小。

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